六硼化硅是一种有光泽的黑灰色粉末,相对密度3.0g/cm3,熔点2200℃。不溶于水,抗氧化、抗热冲击、 抗化学侵蚀,尤其在热冲击下具有很高的强度和稳定性;磨削效率高于碳化硼。
可直接加热硼、硅两单质的混合物,用HF和HNO3除去过剩的硅,再用熔融的KOH把混合物中的B3Si分解而得。