新型光敏聚酰亚胺/SIO2杂化材料 基本信息
| 中文名称 | 新型光敏聚酰亚胺/SIO2杂化材料 |
|---|---|
| 中文同义词 | 新型光敏聚酰亚胺/SIO2杂化材料 |
| 英文名称 | photosensitive polyimide/SiO2 hybrid mate materials |
| 英文同义词 | photosensitive polyimide/SiO2 hybrid mate materials |
| CAS号 | |
| 分子式 | |
| 分子量 | 0 |
| EINECS号 | |
| 相关类别 | 感光高分子;感光功能高分子材料;高分子材料 |
| Mol文件 | Mol File |
| 结构式 |
新型光敏聚酰亚胺/SIO2杂化材料 性质
化学性质
具有感光性能的PI/SiO2杂化材料有更佳的热稳定性、尺寸稳定性的光敏PI材料、机械性能和低的热膨胀系数。用途
应用于微电子、半导体器械件。生产方法
3，3'-二甲基-4，4'-二氨基二苯甲烷(MMDA)溶解于N-甲基-2-吡咯烷酮中，室温搅拌30min，待完全溶解后加入等mol的二苯酮3，3'，4，4'-四酸二酐(BTDA)继续搅拌反应16h，制得聚酰胺酸(PAA)的NMP溶液。在室温下进行化学亚胺化，加入乙酸酐和三乙胺作为脱水剂，室温下反应有尽有24h，在去离子水中析出、洗涤、抽滤、烘干得到PI。再将PI溶于NMP中，制成10wt%的溶液，加入一定量的正硅酸乙酯(TEOS)和乙酸溶液，连续搅拌6h成均相溶液。