乙硅烷是半导体产业重要的硅源气体。乙硅烷目前的应用在NAND FLASH闪存制造。三星电子、海力士、东芝半导体 作为全球顶尖的半导体企业也是NAND FLASH的领 先企业,乙硅烷月需求量都在500KG以上。20nm以下逻辑电路制程也都将大量使用乙硅烷, 如台积电和三星已经从16和14nm制程向10nm甚至 5nm制程发展,国内新产能投资也很迅猛,乙硅烷 的用量正在大幅增长。目前应用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相淀积。
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