352535-01-4；四双(乙基甲基氨)铪(IV)

四（甲乙胺基）铪

分子式/简称： TEMAHf

CAS： 352535-01-4

分子量： 410.95 g/mol

外观和性状： 无色液体

饱和蒸汽压： 0.084 Torr @ 60℃

相对密度： 1.32 g/cm³

主要用于CVD和ALD的前驱体材料，用于沉积铪的前驱物，制备铪氧化物薄膜；可以用于COMS和下一代DRAM的高k绝缘材料，广泛应用于45nm下直至7nm技术等先进CMOS集成电路技术中。其应用于新型阻变/忆阻器件(RRAM)研究中，可展现良好的微缩特性，还可在10nm尺度下保持良好的阻变特性；在铁电存储器件(FeRAM)、铁电场效应晶体管(FeFET)、铁电负电容晶体管(NC-FET)、铁电隧道结等新功能器件制造方面表现出良好的微缩特性，为类脑型神经形态计算等变革性技术研究与发展提供新的途径。还可替代二氧化硅，作为金属-氧化物-半导体场效应晶体管(MOSFET)的栅极。

宝鸡市福诺康实业有限公司位于中国有色金属之城宝鸡，公司依托自身的研发能力和周边高校及科研院所密切合作，以开发研制贵金属催化剂为主，集科研、生产于一体的高新科技企业。公司主要从事贵金属催化剂、贵金属化合物、贵金属回收的研究、开发和生产。已研制开发出数十种贵金属催化剂，主要包括铂炭、钯炭、钌炭、铑炭、铱炭、氧化物等载贵金属催化剂、无机盐贵金属催化剂、贵金属均相催剂等。自主研发出的数十余种型号的催化剂，广泛应用于化工、医药、染料、食品、香料、化纤及油脂等行业。并且提供催化剂选型、制作、回收，并实现催化剂及氢化优化实验。

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