中文名:五(二甲氨基)钽(V)
英文名:Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)
纯度:PrimorTrace™,≥99.99% metals basis
货号:P283060
Cas号:19824-59-0
存储温度:充氩
运输条件:常规运输
产品介绍:
氮化钽 (TaN) 薄膜的挥发性固体 CVD 前体。当在沉积过程中存在 O2、H2O、NO 或 H2O2 时,还会形成氧化钽 (Ta2O5) 薄膜。 Ta2O5 薄膜作为集成电路制造中的栅电介质材料具有广阔的应用前景。
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