中文名:三(二甲氨基)硅烷
英文名:Tris(dimethylamino)silane
纯度:≥95%
货号:T283554
Cas号:15112-89-7
存储温度:室温,充氩
运输条件:常规运输
产品介绍:
三(二甲基氨基)硅烷(TDMAS)用作有机硅源,用于沉积氮氧化硅、碳氮化物、氮化物和氧化物薄膜。它还用于形成含硅多组分薄膜。沉积可以在低衬底温度下进行(<150)。TDMAS的熔点和蒸气压在合适的工作范围内;从而使其成为非常好的气相沉积前体
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