中文名:二乙基硅烷
英文名:Diethylsilane
纯度:≥99%
货号:D331180
Cas号:542-91-6
存储温度:室温,充氩
运输条件:常规运输
产品介绍:
微电子学中用于SiO2化学气相沉积的试剂。
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