中文名:稀释剂OK73
英文名:Diluent ok73
纯度:单个金属杂质≤1ppb
货号:D301826
存储温度:室温
运输条件:常规运输
产品介绍:
稀释剂(OK73):70%的 PGME( 单甲基醚丙二醇) 和 30% 的PGMEA( 丙二醇甲醚醋酸酯)组成。用于设备管路清洗以及除去晶圆边缘,背面,以及涂刷机容器杯上的光阻剂
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