中文名:钨蚀刻剂
英文名:Tungsten etchant
货号:T487587
产品介绍:
钨腐蚀剂是一种基于氢氧化钾和铁氰化钾溶液的混合物,可通过将基底浸入蚀刻溶液中而有助于将钨和铝等材料进行去除。
应用
半导体和微电子技术中钨薄膜金属化的选择性蚀刻剂。蚀刻剂是缓冲式、温和碱性铁氰化物配方,提供高分辨率图案,具有最小切割和光刻胶兼容性。蚀刻剂可直接使用(不需要稀释)。可控、均匀蚀刻是通过浸渍或喷雾蚀刻技术实现的。蚀刻能力(速率在∼70%时下降)为64 g/加仑。建议工作温度:20-80 °C(30-40 °C最常用)
适用性
原理
制备说明
1.根据下表选择蚀刻方法
蚀刻速率(浸入)
30°C = 55 Å/秒
80°C = 85 Å/秒
2.用去离子水冲洗
外形
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