熔点:213-214 ºC
沸点:611.6±28.0 °C(Predicted)
密度:1.19
用途:六苯基环三硅氮烷可作为氮化硅和碳氮化硅沉积的前体用于半导体工业中,并作为光刻胶中的添加剂。
中文同义词:六苯基环三硅氮烷
英文名称:1,2,2,3,4,4-hexaphenyl-1,3,5,2,4,6-triazatrisilinane
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