化学名称:七甲基二硅氮烷(Heptamethyldisilazane, HMDS)
CAS号:920-68-3
分子式:C₇H₂₁NSi₂
分子量:175.43
外观:无色透明液体
沸点:约125°C
密度:约0.77 g/cm³ (25°C)
半导体工业:作为光刻胶的粘附促进剂,广泛应用于半导体制造工艺中
表面处理:用于硅片、玻璃等表面的疏水化处理
有机合成:作为硅烷化试剂,用于保护羟基等活性基团
纳米材料:在纳米材料合成中作为表面修饰剂
高纯度(电子级可达99.9%以上)
良好的热稳定性
反应活性适中
美特(湖北)新材料有限责任公司
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陈经理