基本性质:呈白色粉末状,分子量为 123.86,熔点为 284℃,密度为 2.798g/ml(25℃),极易吸水,是一种强路易斯酸。与其他钛卤化物不同,四氟化钛采用了八面体配位的钛聚合物结构。它在冷水中分解,可溶于硫酸、乙醇和吡啶,但不溶于乙醚。
主要用途:在微电子工业中用作化学气相沉积硅化钛,以制取低电阻、高熔点的互连线,也可用作刻蚀剂、成膜材料或离子注入掺杂剂
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