乙 醇 钽 是 一 种 金 属 醇 盐 , 分 子 式 为 Ta(OEt)5,通常以二聚体Ta2(OEt)10形式 存在。它容易水解,常用来制备Ta2O5薄 膜。电化学合成具 有环境友好(不使用氨和苯)、几乎没 有废弃物、产品氯离子含量低等优势。 阳极:Ta → Ta5+ + 5 e- 阴极:2 EtOH + 2 e- → 2 EtO- + H2↑ 总反应:2 Ta + 10 EtOH → Ta2(OEt)10 + 5 H2↑理化性质乙醇钽水解反应,生产氧化钽薄膜和凝 胶,总反应方程式为: Ta2 (OEt) 10 + 5 H2O → Ta2O5 + 10 EtOH
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