高纯三氯氢硅(TCS)
产品描述:
三氯氢硅包装采用316L不锈钢制作,容积有45L,250L,900L三种规格,阀门为1/2‘’、1/4‘’VCR接口阀门两种规格,容器可分别充装45KG,250KG,1000KG产品;还可根据用户特殊要求提供不同包装和接口,包括ISO-TANK.
技术数据表:
气体名称
三氯氢硅(SiHCl3)
成分或杂质名称
产品指标
纯度
≥99.99%
电阻率
≥1000 ohm.cm
其他氯硅烷
≤100 ppm/w
碳(C)
≤5 ppb/w
施主杂质(砷As,磷P)
≤0.07 ppb/w
硼(B)
≤0.01 ppb/w
铁 (Fe)
≤1 ppb/w
镍(Ni)
≤0.1 ppb/w
铬(Cr)
安徽艾约塔硅油有限公司
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周经理