CAS号:76-16-4
- 中文名:六氟乙烷(别名:全氟乙烷)
- 英文名:Hexafluoroethane(IUPAC名),Perfluoroethane
- 曾用名:氟利昂116、CFC-116、R-116、FC-116、HFC-116
- 分子式:C₂F₆,分子量:138.01
- 保存温度:库房通风、低温、干燥存放,钢瓶避免暴晒/靠近热源,建议环境温度≤30℃,与易燃/可燃物、强氧化剂隔离
- 核心属性:无色无臭惰性气体,微溶于水;熔点**-100.6℃**,沸点**-78.2℃**,临界温度19.7℃;化学性质稳定,不燃、无腐蚀性,高温下仅与活泼金属(如钠)反应,臭氧消耗潜能值(ODP)0,全球变暖潜能值(GWP)较高
- 主要用途:半导体行业等离子刻蚀剂/清洗剂(搭配氧气等,用于硅、二氧化硅刻蚀);超高压电气设备绝缘气体(可与六氟化硫混合使用);低温制冷工质、气体绝缘介质;泡沫塑料发泡剂;核工业中子减速剂/冷却剂
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