四甲基氢氧化铵(Tetramethylammoniumhydroxide,TMAH)又称为氢氧化四甲铵、四甲基氢氧化胺,无色至淡黄色液体,是最强的有机碱,极易吸潮,有一定的氨气味,在空气中能迅速吸收二氧化碳,在室温下其蒸汽压较低,在135~145℃完全分解气化,高纯品在140℃低温处理也无微量残渣。四甲基氢氧化铵溶液无色透明有微氨臭,1(wt)%溶液PH值为12.9,是与苛性碱同等强度的强碱。将四甲基氢氧化铵水溶液在减压下浓缩可得到5个结晶水的吸湿性针状结晶,再继续浓缩脱水变成3个结晶水的结晶,再变成1个结晶水的四甲基氢氧化铵,在135~140°C分解为三甲胺和二甲基醚,通常制10%、25%的水溶液。
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