三甲基硅烷

三甲基硅烷性质熔点-135,9°C沸点6,7°C密度0,638g/cm3折射率1.3800(estimate)闪点<-29°C形态液体比重0.638水溶解性1.4g/Lat20℃水解敏感性3:reactswithaqueousbaseInChIInChI=1S/C3H10Si/c1-4(2)3/h4H,1-3H3InChIKeyPQDJYEQOELDLCP-UHFFFAOYSA-NSMILES[SiH](C)(C)CLogP2.2at20℃CAS数据库993-07-7EPA化学物质信息Silane,trimethyl-(993-07-7)三甲基硅烷用途与合成方法简介三甲基硅烷或三甲基硅化氢，是一种有机硅化合物。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半导体工业中的等离子相腐蚀剂。化学性质三甲基硅烷是具有刺鼻气味的无色液体，其蒸汽比空气重，可能沿地面流动，造成远处着火。用途三甲基硅烷((CH3)3SiH)近年来作为半导体领域中的层间绝缘膜、作为成膜原料，其用途逐渐扩大。