中文名:四(二乙基胺基)钛(IV)
英文名:Tetrakis(diethylamido)titanium(IV)
纯度:PrimorTrace™,≥99.999% metals basis
货号:T432722
Cas号:4419-47-0
存储温度:避光,室温,充氩
运输条件:常规运输
产品介绍:
应用
在有机金属化学气相沉积 (OMCVD) 中作为一氮化钛 (TiN) 薄膜的前体。
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