中文名 四甲基二硅氮烷
化学名 含氢硅氮烷|1,1,3,3-四甲基二硅氮烷
英文名 1,1,3,3-Tetramethyl Disilazane
简 称 TMDS
CAS号 15933-59-2
EINECS 240-072-2
分子式 C4H15NSi2
分子量 133.34
密 度 0.752g/mL
沸 点 99-100°C
闪 点 17°F
外 观 无色至淡黄色液体
溶解性 溶于乙醚、二甲基甲酰胺和二氯甲烷
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郑经理