产品名称:电子级草酸(高纯草酸)
英文名称:Electronic Grade Oxalic Acid
CAS No.:144-62-7(无水);6153-56-6(二水合物)
分子式:C₂H₂O₄(无水) / H₂C₂O₄・2H₂O(二水)
外观:白色结晶 / 结晶性粉末,无可见杂质
等级:电子级(SEMI 标准 / 高纯级)
超高纯度
纯度 ≥99.5%–99.95%,部分高端型号达 5N(99.999%),满足高精工艺要求。
极低杂质
金属离子(Na、K、Fe、Ca、Pb 等)≤1 ppm 甚至 ppb 级,氯化物、硫酸盐、颗粒、有机物残留严格受控,不污染晶圆、不影响良率。
强络合 + 还原性
高效去除硅片、玻璃、金属表面氧化层、金属离子、有机残留,清洗力强、残留低、不腐蚀基底。
稳定性好
溶解性佳,水溶液酸性温和可控,批次一致性高,适合自动化制程稳定使用。
南通普罗维康生物科技有限公司
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