本产品是专为半导体、芯片制造及面板湿法工艺开发的高抗性生化触酶。
其核心优势在于突破了传统生物酶不耐强碱、不耐高温的局限,能够在复杂的工业废液环境中精准、极速地将双氧水(H2O2)分解为水和氧气,是保护下游 RO 反渗透膜、降低换膜成本的理想选择。
【核心卖点】
极速脱除,ppb级精度:最适反应条件下可实现双氧水的瞬时降解,彻底消除氧化残留。
硬核耐强碱性能:针对半导体 SC1 废液环境,在 pH 11.0 的强碱工况下放置 24 小时,活性依然维持在 88.59% 以上,无需中和调节 pH 即可直投。
卓越的热稳定能力:在 75°C 高温工况下保温 1 小时,酶活性保留率高达 89.40%,适配中高温清洗线需求。
保膜降本,绿色纯净:反应过程不产生无机盐(TDS),有效防止膜面结垢,显著延长 RO 膜使用寿命,综合运维成本降低 30% 以上。
【适用工况】
半导体清洗:RCA 清洗工艺(尤其是 SC1 段)后的双氧水脱除。
水回用系统:在 RO 膜前置工艺中彻底清除氧化剂,保障回用水安全。
化学机械抛光 (CMP):抛光废液的深度净化与氧化剂降解。
山东玲隆生物工程有限公司
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