中文名 甲基二乙氧基硅烷
化学名 二乙氧基甲基硅烷|甲基二乙氧基氢硅烷
英文名 Diethoxymethylsilane
简 称 DEMS
CAS号 2031-62-1
EINECS 217-982-3
分子式 C5H14O2Si
分子量 134.249
密 度 0.838g/mL
沸 点 94-95°C
闪 点 10°C
外 观 无色液体
溶解性 在空气中遇水蒸汽水解,溶于多数有机溶剂
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郑经理