四氟化碳(CF₄)无色无味惰性气体,化学稳定性极强,绝缘性能优良。广泛用于半导体蚀刻、腔体清洗,也可作为低温制冷剂、高压设备绝缘介质。温室效应潜能较高,大气存留时间长。本身低毒,但高温分解会生成有毒氟化物,作业场所需强制通风,废气统一回收处理,禁止直接排放。
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九月