适用场合
半导体芯片制造工厂:用于洁净室或物料准备区存放紫外光刻胶、深紫外光刻胶、电子束光刻胶等。
光电子与MEMS企业:储存图形化工艺所需的各类正性、负性光敏树脂及辅助材料。
纳米材料与微纳加工实验室:为科研用高精度光刻胶提供规范的避光冷藏条件,保障试验可重复性。
第三方检测与失效分析机构:存放需特定温度、避光环境的化学试剂及标准品。
高校微电子、材料专业实验室:满足教学与课题研究中对光敏材料储存的要求。
产品特点
全遮光设计:柜门采用实体遮光结构,无透明视窗,箱体密封性良好,完全隔绝外界紫外光与可见光渗入。内部取消常规照明灯,可依据需求选配无紫外输出的辅助光源,在短时开门取放时也可减少不必要曝光。
精准恒温控制:微电脑温度控制系统,数字显示实时温度,设定温度可在宽幅区间内按需调节(常见如2~8℃冷藏或15~25℃恒温,具体根据光刻胶说明书设定),温控波动幅度小,长期运行稳定在目标值附近。
均匀温场设计:通过优化的风道循环或制冷均温方式,箱内各搁架层温差控制在较窄范围,避免局部过冷或过热造成胶体变性,确保批量存放的均一性。
内部洁净防腐蚀:内胆采用耐腐蚀且易擦拭的材质,可抵御光刻胶挥发性溶剂的轻微侵蚀,清洁时不易留痕,有助于维持内部洁净环境。搁架承重力好,高度可自由调节,适配不同规格的光刻胶瓶、安全罐或取样盒。
多重安全预警:具备高低温超限报警、开门延时提醒及传感器异常指示等功能,当温度偏离设定值或柜门未关妥时,及时发出声光提醒,方便操作人员迅速检查,降低因环境波动导致的材料风险。
低振动运行:选用稳定型压缩机和减振设计,运行噪音低、振动小,对需要在洁净室或安静实验环境下放置的设备来说较为友好,同时减少振动对储存样品的潜在扰动。
北京福意联医疗设备有限公司大连分公司
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