甲基丙烯酸1-(1-乙基-1-环戊氧基羰基)甲酯

1. 基本信息

中文名称：1-乙基环戊基甲基丙烯酸酯

英文名称：1-Ethylcyclopentyl methacrylate

CAS号：266308-58-1

分子式：C11H18O2

分子量：182.26

2. 中英文名称及别称

中文同义名：甲基丙烯酸1-乙基环戊酯、1-乙基-环戊醇甲基丙烯酸酯、1-甲基丙烯酸乙基环戊基酯

英文同义名：1-Ethylcyclopentyl methacrylate、(1-Ethylcyclopentyl) 2-methylprop-2-enoate、Methacrylic Acid 1-Ethylcyclopentyl Ester、2-Propenoic acid, 2-methyl-, 1-ethylcyclopentyl ester、EtCPMA

3. 主要用途

该化合物是一种脂环族甲基丙烯酸酯类单体，在多个领域具有应用价值。

ArF光刻胶核心单体：这是ECPMA最核心的用途。作为193nm浸没式ArF光刻胶专用关键脂环族单体，属于半导体电子化学品核心原料。分子中的环戊刚性环状结构赋予树脂三大核心优势：193nm深紫外高透光、优异等离子抗蚀刻能力、抑制酸扩散，能够显著提升光刻图形分辨率、降低线边缘粗糙度，是先进制程光刻胶成膜树脂不可缺少的共聚组分。

厌氧胶：可用于厌氧胶黏剂的合成。

热剥离胶黏剂：可用于热剥离胶黏剂领域。