全氟丁基磺酸三苯基锍盐
英文名称:Triphenylsulfonium nonaflate
CAS号:144317-44-2
分子式:C22H15F9O3S2
分子量:562.46
外观:白色结晶粉末
包装:1kg/袋,或者25kg/桶,或按客户要求进行包装。
存储:密封储存于阴凉、干燥通风处,防潮防水,远离火种、热源。
用途:全氟丁基磺酸三苯基锍盐作为低毒环境友好型光产酸剂,广泛应用于157-nm、193-nm、248-nm光刻胶体系,也可作为阳离子光引发剂用于相关电子化学品生产。
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