中文名:四(二甲基胺基)锆(IV)
英文名:Tetrakis(dimethylamido)zirconium(IV)
纯度:PrimorTrace™,电子级,≥99.99% metals basis
货号:T432279
Cas号:19756-04-8
存储温度:2-8°C储存,充氩
运输条件:低温运输
产品介绍:
应用
四(二甲基氨基)锆 (IV)可用作锆原子层沉积的前驱物,其应用范围从气体传感器到微电子学中的高k电介质。
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