四甲基氢氧化铵（英文名称：Tetramethylammonium hydroxide，简称TMAH），是一种季铵碱类有机化合物，分子式为(CH3)4NOH，相对分子量为91.15 。TMAH外观为无色晶体（常含三、五等结晶水） ，有一定的氨气味 ，熔点63℃ ，沸点120℃。易溶于水和醇类，微溶于二甲基亚砜、二氯甲烷等有机溶剂。TMAH铵具有强碱性，能和多种酸反应生成季铵盐，在空气中能迅速吸收二氧化碳形成碳酸盐，还具有较强的甲基化能力，酯化反应速度快。TMAH受热易分解，在135~145℃时分解气化 。
工业上，一般采用四甲基铵盐和氢氧化物作为原料制备TMAH，常见的制备方法包括沉淀法、碱置换法、双极膜电渗析法、电解法和离子膜电解法等 。TMAH被广泛用于半导体领域，主要用作印刷电路板的光刻显影剂以及微电子芯片制造中的清洗剂。在工业领域和分析领域也有广泛用途，如用作有机合成试剂、表面活性剂、催化剂、缓蚀剂及甲基化溶剂等 。
TMAH是一种强碱，燃烧会释放出有毒氮氧化物和氨气烟雾 。接触、食入或吸入TMAH对人体皮肤、眼睛、粘膜具有强刺激性和腐蚀性，吸入可引起喉、支气管炎症、痉挛、化学性肺炎及肺水肿等 。进入人体后，TMAH可与胆碱能受体激动剂反应分解，其分解产物会抑制呼吸肌肉群，造成呼吸肌肉麻痹，导致脑部缺氧和器官衰竭死亡。成人的口服致死剂量估计为250~1000mg 。
中文名
四甲基氢氧化铵
外文名
Tetramethylammonium hydroxide
化学
C4H13NO
分子量
91.152
CAS登录号
75-59-2
EINECS登录号
200-882-9
熔 点
68 至 71 ℃
沸 点
110 ℃
水溶性
可溶
密 度
0.866 g/cm³
外 观
无色结晶性粉末
物理性质
四甲基氢氧化铵通常以五水合物（TMAH·5H₂O）形式存在，表现为白色针状结晶，具有明显的吸湿性。其熔点为62-63°C（五水合物），沸点约为120°C。密度约为1.00 g/cm³（25°C）。TMAH易溶于水、甲醇等极性溶剂，微溶于二甲基亚砜和二氯甲烷。市售产品常见为10%、25%的水溶液或甲醇溶液，溶液呈无色至淡黄色，具有氨样气味 。
应用领域
在半导体工业中，TMAH作为正性光刻胶显影液的核心材料，用于集成电路和显示面板的制造工艺。其2.38%水溶液是标准的显影液浓度，能够精确控制图形精度 。
在硅片制绒领域，TMAH替代传统的NaOH/IPA溶液，用于制备减反射金字塔绒面。典型配方为2% TMAH + 5% IPA，在80°C下腐蚀10分钟，可使反射率降低40% 。
在纳米材料合成方面，TMAH用于水热法制备Ti/TiO₂纳米结构，实现氮/碳自掺杂，拓展光吸收至近红外区域 。
在分析化学中，TMAH作为衍生化试剂用于气相色谱分析，快速制备羧酸甲酯 。
此外，TMAH还作为有机硅合成的催化剂、相转移催化剂和极谱分析试剂等 。
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