559-40-0
中文名称
全氟环戊烯
英文名称
OCTAFLUOROCYCLOPENTENE
CAS
559-40-0
EINECS 编号
209-203-0
分子式
C5F8
MDL 编号
MFCD00013745
分子量
212.04
MOL 文件
559-40-0.mol
更新日期
2026/11/03 17:26:54
559-40-0 结构式
基本信息
中文别名
全氟环戊烯八氟环戊烯
英文别名
FC-C-1418OCTAFLUOROCYCLOPENTENE
PERFLUOROCYCLOPENTENE
PFC C-1418
1,2,3,3,4,4,5,5-Octafluoro-1-cyclopentene
Cyclopentene, octafluoro-
Cyclopentene, perfluoro
octafluoro-cyclopenten
FC-C-1418~Perfluorocyclopentene
Octafluorocyclopentene (PFC C-1418)
Octafluorocyclopentene (PFC C-1418) 99.5%
1,2,3,3,4,4,5,5-Octafluorocyclopentene
Octafluoro-1-cyclopentene
所属类别
有机原料：环烃物理化学性质
熔点-70°C
沸点27 °C
密度1.58
折射率1.3000 (estimate)
储存条件Refrigerator
水溶解性不溶于水
形态透明液体
比重1.580
颜色无色至几乎无色
EPA化学物质信息Octafluorocyclopentene (559-40-0)
安全数据
警示词危险
防范说明P260-P271-P280
危险品标志Xi
危险类别码R36/37
危险品运输编号2810
RTECS号GY6000000
Hazard NoteIrritant
TSCATSCA listed
危险等级IRRITANT, GAS
海关编码29038900
常见问题列表
简介
全氟环戊烯不溶于水，溶于丙酮等有机溶剂，外观呈无色至几乎无色透明液体，有轻微特殊气味，它的低表面张力和良好的润湿性能，它对电气设备和电子元件具有不可湿润性，可以作为一种理想的绝缘材料和润滑材料，能够保护电子器件免受水分、灰尘或其他污染物的侵蚀。用途
全氟环戊烯（C₅F₈）在半导体制造中主要用作干法刻蚀气体和化学气相沉积（CVD）前驱体：作为刻蚀气体，它适用于氧化硅、氮化硅等介质材料的图形转移，尤其在高深宽比接触孔和自对准接触（SAC）工艺中，能提供较好的氧化硅对氮化硅的选择比，并有助于形成接近垂直的侧壁轮廓；作为CVD前驱体，它可通过等离子体聚合沉积含氟有机薄膜，用于层间绝缘或表面钝化等场景。此外，美国环保署的显著新用途规则也将八氟环戊烯明确列为半导体生产用的干法刻蚀剂和CVD剂。制备方法
全氟环戊烯合成主要以六氯环戊二烯或八氯环戊烯为原料，经过氯氟化或氟化制得部分氟化的全卤环戊烯C5ClAF8-A（A=1～7）中间体，最后所得中间体通过催化氟化或碱金属氟化物氟化制得全氟环戊烯。