ChemicalBook
Chinese english Japan Germany
ChemicalBook > 製品カタログ > 有機化学品 > アミノ化合物 > 非環式モノアミン、ポリアミンおよびそれらの誘導体および塩 > N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン

N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン

N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン price.
  • ￥26900 - ￥268800
  • 化学名: N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン
  • 英語名: Tris(dimethylamino)silane
  • 別名:N,N',N''-シラントリイルトリス(ジメチルアミン);N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリイルトリアミン;トリス(ジメチルアミノ)シラン;N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン;N,N',N''-(シラントリイル)トリス(ジメチルアミン);N，N，N’，N’，N’’，N’’-ヘキサメチルシラントリアミン;TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE, 99+%, 3DMAS (99.999%-SI) PURATREM, 14-8750, CONTAINED IN 50 ML SWAGELOK® CYLINDER (96-1070) FOR CVD/ALD;トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM;トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok® cylinder (96-1070) for CVD/ALD;N,N,N′,N′,N′′,N′′-ヘキサメチルシラントリアミン;N,N,N′,N′,N′′,N′′-ヘキサメチルシラントリイルトリアミン;N,N′,N′′-シラントリイルトリス(ジメチルアミン);N,N′,N′′-(シラントリイル)トリス(ジメチルアミン);[ビス(ジメチルアミノ)シリル]ジメチルアミン
  • CAS番号: 15112-89-7
  • 分子式: C6H19N3Si
  • 分子量: 161.32
  • EINECS:239-165-0
  • MDL Number:MFCD00048006
価格8 プロパティ 安全情報 説明
8物価
選択条件：
ブランド
  • 富士フイルム和光純薬株式会社(wako)
  • Sigma-Aldrich Japan
パッケージ
  • 5g
  • 10g
  • 25g
  • 100g
  • 生産者富士フイルム和光純薬株式会社(wako)
  • 製品番号W01SRM14-8750
  • 製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
  • 英語製品説明Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
  • 包装単位5g
  • 価格￥32300
  • 更新しました2024-03-01
  • 購入
  • 生産者富士フイルム和光純薬株式会社(wako)
  • 製品番号W01S04LS-1460
  • 製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン
  • 英語製品説明Tris(dimethylamino)silane
  • 包装単位25g
  • 価格￥67200
  • 更新しました2021-03-23
  • 購入
  • 生産者富士フイルム和光純薬株式会社(wako)
  • 製品番号W01SRM14-8750
  • 製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
  • 英語製品説明Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
  • 包装単位25g
  • 価格￥92000
  • 更新しました2024-03-01
  • 購入
  • 生産者富士フイルム和光純薬株式会社(wako)
  • 製品番号W01S04LS-1460
  • 製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン
  • 英語製品説明Tris(dimethylamino)silane
  • 包装単位10g
  • 価格￥26900
  • 更新しました2021-03-23
  • 購入
  • 生産者富士フイルム和光純薬株式会社(wako)
  • 製品番号W01SRM98-4035
  • 製品説明Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok® cylinder (96-1070) for CVD/ALD
  • 英語製品説明Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok? cylinder (96-1070) for CVD/ALD
  • 包装単位25g
  • 価格￥265200
  • 更新しました2021-03-23
  • 購入
  • 生産者富士フイルム和光純薬株式会社(wako)
  • 製品番号W01S04LS-1460
  • 製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン
  • 英語製品説明Tris(dimethylamino)silane
  • 包装単位100g
  • 価格￥268800
  • 更新しました2021-03-23
  • 購入
  • 生産者Sigma-Aldrich Japan
  • 製品番号570133
  • 製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン electronic grade, 99.999%
  • 英語製品説明Tris(dimethylamino)silane electronic grade, 99.999%
  • 包装単位25g
  • 価格￥27200
  • 更新しました2024-03-01
  • 購入
  • 生産者Sigma-Aldrich Japan
  • 製品番号759562
  • 製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン packaged for use in deposition systems
  • 英語製品説明Tris(dimethylamino)silane packaged for use in deposition systems
  • 包装単位25g
  • 価格￥127000
  • 更新しました2024-03-01
  • 購入
生産者 製品番号 製品説明 包装単位 価格 更新時間 購入
富士フイルム和光純薬株式会社(wako) W01SRM14-8750 トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM 		5g ￥32300 2024-03-01 購入
富士フイルム和光純薬株式会社(wako) W01S04LS-1460 トリス(ジメチルアミノ)シラン
Tris(dimethylamino)silane 		25g ￥67200 2021-03-23 購入
富士フイルム和光純薬株式会社(wako) W01SRM14-8750 トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM 		25g ￥92000 2024-03-01 購入
富士フイルム和光純薬株式会社(wako) W01S04LS-1460 トリス(ジメチルアミノ)シラン
Tris(dimethylamino)silane 		10g ￥26900 2021-03-23 購入
富士フイルム和光純薬株式会社(wako) W01SRM98-4035 Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok® cylinder (96-1070) for CVD/ALD
Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok? cylinder (96-1070) for CVD/ALD 		25g ￥265200 2021-03-23 購入
富士フイルム和光純薬株式会社(wako) W01S04LS-1460 トリス(ジメチルアミノ)シラン
Tris(dimethylamino)silane 		100g ￥268800 2021-03-23 購入
Sigma-Aldrich Japan 570133 トリス(ジメチルアミノ)シラン electronic grade, 99.999%
Tris(dimethylamino)silane electronic grade, 99.999%		 25g ￥27200 2024-03-01 購入
Sigma-Aldrich Japan 759562 トリス(ジメチルアミノ)シラン packaged for use in deposition systems
Tris(dimethylamino)silane packaged for use in deposition systems		 25g ￥127000 2024-03-01 購入

プロパティ

融点  :<0°C
沸点  :145 °C
比重(密度)  :0,838 g/cm3
屈折率  :1.4247
闪点  :25°C
貯蔵温度  :2-8°C, protect from light
外見  :liquid
酸解離定数(Pka) :10.93±0.70(Predicted)
比重 :0.84
色 :colorless to light yellow
Sensitive  :air sensitive, moisture sensitive
Hydrolytic Sensitivity :8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
InChI :1S/C6H19N3Si/c1-7(2)10(8(3)4)9(5)6/h10H,1-6H3
InChIKey :TWVSWDVJBJKDAA-UHFFFAOYSA-N
SMILES :CN(C)[SiH](N(C)C)N(C)C
EPAの化学物質情報 :N,N,N',N',N'',N''-Hexamethylsilanetriamine (15112-89-7)

安全情報

絵表示(GHS): Flame (GHS02)Corrosion (GHS05)Skull and Crossbones (GHS06)
注意喚起語: Danger
危険有害性情報:
コード 危険有害性情報 危険有害性クラス 区分 注意喚起語 シンボル P コード
H225 引火性の高い液体および蒸気 引火性液体 2 危険 P210,P233, P240, P241, P242, P243,P280, P303+ P361+P353, P370+P378,P403+P235, P501
H261 水に触れると可燃性/引火性ガスを発生 水反応可燃性化学品 2
3		 危険
警告		 P231+P232, P280, P370+P378,P402+P404, P501
H302 飲み込むと有害 急性毒性、経口 4 警告 P264, P270, P301+P312, P330, P501
H311 皮膚に接触すると有毒 急性毒性、経皮 3 危険 P280, P302+P352, P312, P322, P361,P363, P405, P501
H314 重篤な皮膚の薬傷?眼の損傷 皮膚腐食性/刺激性 1A, B, C 危険 P260,P264, P280, P301+P330+ P331,P303+P361+P353, P363, P304+P340,P310, P321, P305+ P351+P338, P405,P501
H330 吸入すると生命に危険 急性毒性、吸入 1, 2 危険 P260, P271, P284, P304+P340, P310,P320, P403+P233, P405, P501
注意書き:
P210 熱/火花/裸火/高温のもののような着火源から遠ざ けること。－禁煙。
P231+P232 湿気を遮断し、不活性ガス下で取り扱うこと。
P280 保護手袋/保護衣/保護眼鏡/保護面を着用するこ と。
P303+P361+P353 皮膚（または髪）に付着した場合：直ちに汚染された衣 類をすべて脱ぐこと/取り除くこと。皮膚を流水/シャワー で洗うこと。
P305+P351+P338 眼に入った場合：水で数分間注意深く洗うこと。次にコ ンタクトレンズを着用していて容易に外せる場合は外す こと。その後も洗浄を続けること。

説明

Tris(dimethylamino)silane (TDMAS) is used as an organosilicon source for the deposition of Si oxynitride; carbonitride; nitride and oxide thin films. It is also used to form multicomponent silicon containing thin films. The depositions can be carried out at low substrate temperatures (<150). The melting point and vapor pressure of TDMAS is in a suitable working range; thus making it a very good vapor deposition precursor.

関連製品価格

トリス(ジベンジリデンアセトン)(クロロホルム)ジパラジウム(0) トリス(ジベンジリデンアセトン)ジパラジウム(0) メチリジントリス(トリメチルシラン) トリス(ジメチルアミド)ガリウム(III) トリス(ジメチルアミド)アンチモン(III) トリス(ジメチルアミド)アルミニウム(III) テトラ(ジメチルアミノ)シラン

関連商品価格

供給者とメーカー

Shanghai Boyle Chemical Co., Ltd. J & K SCIENTIFIC LTD. Meryer (Shanghai) Chemical Technology Co., Ltd. INTATRADE GmbH Beijing HwrkChemical Technology Co., Ltd Energy Chemical Shanghai Boc Chemical Co.,Ltd Shanghai Hanhong Scientific Co.,Ltd. Novel Chemical Shanghai Gileader Advanced Material Technology Co.,Ltd