aladdin 阿拉丁 T283512 氟化钽（V） 7783-71-3 99.5% (metals basis)

中文名：氟化钽（V）

英文名：Tantalum(V) fluoride

纯度：≥99.5% metals basis

货号：T283512

Cas号：7783-71-3

存储温度：充氩

运输条件：常规运输

产品介绍：

五氟化钽（TaF5），常温下是一种白色结晶，折光能力强。五氟化钽微溶于热的二硫化碳和四氯化碳溶液中，溶于水和乙醚、氢氟酸、硝酸、发烟硝酸，在空气中吸湿而不水解。高纯五氟化钽在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钽或钽膜，制作低电阻、高熔点的电路互连线和栅极。五氟化钽在电子元器件表面、半导体器件表面、钛及金属氮化物电极表面、金属钨表面上，可形成附着力极强、厚度为0.1μm级的绝缘薄膜，具有高的介电率。

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