五氟化钽
中文同义词氟化钽;氟化钽(V)
英文名称Tantalum fluoride
CAS号7783-71-3
分子式F5Ta
分子量275.94
EINECS号232-022-3
化学性质五氟化钽为易挥发的、具有吸潮性的、白色的单斜晶系结晶。
用途 用于钽的化学气相沉积和离子注入掺杂,还用于有机化合物合成催化剂。
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周经理