六氟丁二烯又称全氟丁二烯,HFBD,分子式C₄F₆,分子量162.03,属极易燃液化气体(常温常压气态)。无色无味气体;熔点-128℃,微溶于水、易溶于有机溶剂,受热易气化升压。极易燃,无明确闪点,受热分解产有毒氟化氢;忌强氧化剂、空气,远离热源,GWP近乎0,环境友好。吸入中毒。
C₄F₆
685-63-2
2N/4N
47L
无色无味气体
5.85℃
核心应用领域
(一)电子工业领域
高纯级为半导体先进制程核心蚀刻气,用于7nm及以下工艺等离子体蚀刻,适配3D NAND制造;蚀刻速率快、选择性高,降PFC排放65%-82%。
(二)含氟聚合物合成领域
用作含氟聚合物合成单体,制备高性能氟树脂及防水耐腐涂层,支撑高端密封领域。
(三)化工合成领域
作为有机合成中间体,用于电子材料制备;亦为药物传递载体,提升药物吸收效率。
安全规范与操作指南
(一)储存要求
耐压钢瓶盛装,标注“极易燃、高压、遇热爆炸、吸入中毒”;储存于≤52℃干燥通风库房,远离火源,禁与强氧化剂、空气混存;钢瓶直立固定接地,空满瓶分放,定期巡检泄漏。
(二)运输规范
UN 3161(2.1类极易燃气体),贴警示标识并配应急器材;专用危险品车运输,禁混运强氧化剂;避高温暴晒、剧烈碰撞,禁停留居民区、水源地。
(三)操作与应急处理
操作要求:持证上岗,穿戴防护眼罩、防化手套及防静电服;通风良好处操作,防爆通风;用防静电工具,缓慢开阀配专用减压器;密闭空间操作需监护并监测浓度。
泄漏处理:切断火源,疏散人员至上风向安全区;应急人员戴正压呼吸器、穿防静电服;小量泄漏防爆回收,大量围堤收容,禁直喷水,防进入限制性空间;漏气着火勿灭火,除非可安全止漏。
急救措施:①吸入:移至新鲜空气,呼吸困难输氧就医;②皮肤接触:冻伤后38~42℃温水复温,勿摩擦,脱污染衣物就医;③眼睛接触:流动清水冲洗≥15分钟,取隐形眼镜继续冲洗就医;④食入:无此途径。
(四)废弃处置
优先回收,无法回收余气经惰性气体稀释后碱液吸收达标排放;钢瓶氮气置换干燥后专业回收,符合国家及地方规章。
尚澜气体供应特种气体以及稳定同位素和放射性同位素:
碳13系列:碳13二氧化碳、碳13一氧化碳、碳13甲烷、碳13尿素等;
氮15系列:氮15氮气、氮15笑气,氮15一氧化氮;
氧18系列:氧18氧气、氧18二氧化碳、氧18水(重氧水)
氘代试剂:重水、氘代氨、氘代硅烷(混合气)、氟化氘、氘气、氢氘(HD 97%)等;
放射性同位素:锗镓发生器,氪85,锕225,锶90,Am241,γ放射源,β放射源,α放射源等;
特殊同位素:二氟化氙,氦3,硅28、氙124、氙129、氙131、钼98、氩36、铁58,金属钛49,钙42,镁26,镍64等;
特种气体:氪气(40升),氙气(100升起充),丙二烯,丙炔,环丙烷,乙烯基乙炔、六氟丙烷,三氟甲烷,一氧化碳,一氧化氮,二氧化氮,三氟化氮,四氯化锗,三氟甲磺酸酐,1-丁炔(70%-80%纯度),丙烯,五氟化碘,五氟化锑,五氟化磷,核磁共振添加液氦,同位素混合气混配;
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尚澜气体(上海)有限公司
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同位素刘海龙