CAS号：685-63-2
- 中文名：六氟丁二烯（全称：1,1,2,3,4,4-六氟-1,3-丁二烯，别名：全氟丁二烯）
- 英文名：Hexafluorobuta-1,3-diene（IUPAC）、Hexafluoro-1,3-butadiene、Perfluorobuta-1,3-diene
- 曾用名：HFBD（缩写）、FC 2316、全氟丁二烯、六氟-1,3-丁二烯，无其他常见中文曾用名
- 分子式：C₄F₆，分子量162.03
- 保存温度：阴凉通风、≤30℃，钢瓶防暴晒/热源/撞击，密封防潮，与氧化剂、可燃物、强酸强碱隔离存放，远离火源与静电
- 核心属性：无色无味气体，加压可液化；熔点约**-132℃**，沸点6-7℃，蒸气压176.8kPa（20℃）；易燃（H220）、有毒（H331），化学性质较稳定，高温或引发剂下可聚合；微溶于水，GWP仅290，大气寿命1.9天，环境友好
- 主要用途：半导体先进制程等离子刻蚀气（3D NAND等高深宽比蚀刻，高选择性、快速率、低GWP）；氟聚合物聚合单体（制氟树脂、氟橡胶）；环保型替代刻蚀气（替代PFCs）；电子工业清洗/沉积辅助气体
关键字： 六氟丁二烯;1,1,2,3,4,4-六氟-1,3-丁;685-63-2;全氟丁二烯;Hexafluoro-1,3-butad;
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