CAS号 7783-54-2
中文名 三氟化氮
英文名 Nitrogen trifluoride;Nitrogen(III) fluoride
曾用名/别名 氟化氮(III)、NF3
分子式 NF₃
保存温度 高压钢瓶密封储存,阴凉通风干燥处≤30℃,远离热源、火源、强还原剂,钢瓶直立固定,避免暴晒、撞击
属性 无机化合物,氮的氟化物;常温常压下为无色无味气体,微溶于水,化学性质较稳定,具强氧化性,高温下易分解,属于低毒特种工业气体,遇明火/高温会产生有毒氟化物烟气
用途 1. 电子特气:半导体/光伏行业等离子体蚀刻剂,用于硅片、氮化硅等材料的精细刻蚀,是芯片制造核心气体; 2. 清洗剂:液晶面板、半导体器件的干法清洗气体; 3. 氟化剂:有机合成中温和的氟化试剂,用于含氟化合物制备; 4. 氧化剂:火箭推进剂、高能燃料体系的辅助氧化剂; 5. 化工原料:制备其他氮氟化物、含氟精细化学品的中间体
济南市万理气体有限公司
联系商家时请提及chemicalbook,有助于交易顺利完成!
济南万理气体