六氟化钨

 CAS号：7783-82-6

- 中文名：六氟化钨（别名：氟化钨）

- 英文名：Tungsten hexafluoride（IUPAC：Tungsten(VI) fluoride），Hexafluorotungsten

- 曾用名：中文曾用名无；英文别名：Tungsten fluoride (WF₆)、Tungsten(6+) fluoride

- 分子式：WF₆（也写作F₆W），分子量297.83

- 保存温度：密封、干燥、阴凉通风，与水、潮湿空气、碱、还原剂隔离；建议低于25℃，避免高温暴晒，钢瓶远离热源

- 核心属性：无色液化气体（常温），熔点约2.3℃，沸点约17.5℃；气体密度约13.1 g/L，液体密度约3.44 g/cm³(15℃)；剧毒、强腐蚀性、强吸湿性，遇水剧烈水解生成氢氟酸与钨氧化物，对多数金属有腐蚀性（金、铂、镍、蒙乃尔合金、不锈钢相对耐受），不可燃

- 主要用途：半导体CVD沉积钨薄膜（用于互连线、栅极、阻挡层）；有机合成氟化剂/催化剂；光纤/光学材料制备；钨化合物合成与高纯钨制备；电子工业测试/校准气体