CAS号:10025-78-2
- 中文名:三氯氢硅(别名:三氯硅烷)
- 英文名:Trichlorosilane(IUPAC名),Silicochloroform
- 曾用名:硅仿、硅氯仿、三氯甲硅烷、三氯化硅,无其他常见中文曾用名
- 分子式:SiHCl₃,分子量135.45
- 保存温度:库房阴凉干燥、通风,温度≤25℃,与水、醇、碱、氧化剂、易燃物隔离;密封防泄漏防潮,钢瓶避暴晒、撞击、热源,惰性气氛保护,严禁明火
- 核心属性:无色易挥发液体,有刺激性HCl气味;熔点**-134℃**,沸点31.8℃,密度1.35g/mL(25℃);遇湿易燃、高毒、强腐蚀性,遇水剧烈水解生成HCl与硅氧烷,空气中自燃(自燃点104.4℃),爆炸极限6.9%-70%(体积分数),溶于苯、乙醚等,干燥时对部分金属无腐蚀,潮湿时腐蚀强
- 主要用途:光伏/半导体高纯多晶硅原料(西门子法核心原料,制备单晶硅/外延硅层);有机硅核心单体(制硅烷偶联剂、硅油、硅橡胶、硅树脂);电子级CVD硅源(硅基薄膜沉积);有机合成还原剂/氯化剂(选择性还原官能团);仪表工业材料
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