CAS号:4109-96-0
- 中文名:二氯二氢硅(别名:二氯硅烷)
- 英文名:Dichlorosilane(IUPAC名)、Dichlorodihydrosilane,常用缩写DCS
- 曾用名:二氯硅烷、DCS、二氯甲硅烷,无其他常见中文曾用名
- 分子式:SiH₂Cl₂,分子量101.01
- 保存温度:库房阴凉通风、干燥、惰性气氛(如氮气),钢瓶≤25℃,严禁暴晒、撞击及靠近火源/热源/氧化剂,密封防泄漏、防潮,远离可燃物与强酸强碱
- 核心属性:无色有毒气体,有刺激性窒息气味;熔点**-122.0℃**,沸点8.2℃,蒸气压约140kPa(20℃);易燃(44℃以上可自燃,H220)、有毒(H331)、强腐蚀性,遇水剧烈水解生成HCl与硅氧烷,爆炸极限4.1%-99%(体积分数),溶于苯、乙醚等有机溶剂
- 主要用途:半导体CVD/外延硅源(生长外延膜、Si3N4/SiO2/多晶硅膜,适配先进制程);光伏N型电池阻挡层材料;有机硅合成中间体(制硅油、硅橡胶);电子级高纯硅薄膜沉积;特种玻璃抗反射/耐腐蚀涂层原料
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