1. CAS号:无单一CAS号(核心组分磷烷CAS:7803-51-2;稀释气多为氮气CAS:7727-37-9/氩气CAS:7440-37-1)
2. 中文名:磷烷混合气;磷烷稀释混合气
3. 英文名:Phosphine mixture;Phosphine in inert gas(N₂/Ar)
4. 曾用名:磷化氢混合气、磷烷惰性保护混合气
5. 保存温度:高压钢瓶常温密封储存,置于阴凉通风、≤30℃干燥环境,避光、远离热源/火种/氧化剂,严禁暴晒
6. 分子式:无单一分子式,组分为\ce{PH3 + N2/Ar}(常见磷烷体积分数1%~5%,余为惰性稀释气,高浓度规格极少商用)
7. 属性:无色有大蒜/腐鱼剧毒气味的高压压缩气体,属第2.1类易燃气体+第2.3类有毒气体,稀释后燃爆/中毒风险降低,仍具强还原性,遇空气易自燃、遇水/卤素/氧化剂剧烈反应,易分解产生磷单质
8. 用途:半导体工业化学气相沉积(CVD)的磷掺杂剂,用于制备N型硅半导体;光伏行业晶硅/薄膜电池的掺杂工艺;外延生长、离子注入的磷源;精细化工的还原试剂;冶金工业的磷化物制备
济南市万理气体有限公司
联系商家时请提及chemicalbook,有助于交易顺利完成!
济南万理气体