锗烷混合气

1. CAS号：无单一CAS号（核心组分锗烷CAS：7782-65-2；稀释气多为氮气CAS：7727-37-9/氩气CAS：7440-37-1）

2. 中文名：锗烷混合气；锗烷稀释混合气

3. 英文名：Germane mixture；Germane in inert gas（N₂/Ar）

4. 曾用名：甲锗烷混合气、锗烷惰性保护混合气

5. 保存温度：高压钢瓶常温密封储存，置于阴凉通风、≤30℃干燥环境，避光、远离热源/火种/氧化剂，严禁震动和暴晒

6. 分子式：无单一分子式，组分为\ce{GeH4 + N2/Ar}（常见锗烷体积分数1%~10%，余为惰性稀释气，无高浓度商用规格）

7. 属性：无色剧毒气体，微有刺激性气味，属第2.1类易燃气体+第2.3类有毒气体，高压压缩气体，稀释后风险降低；具强还原性，遇空气易自燃、遇水/卤素/氧化剂剧烈反应，受热易分解产生锗单质

8. 用途：半导体工业化学气相沉积（CVD）的锗源，用于制备锗硅（SiGe）外延薄膜、红外探测器材料；光伏行业高效薄膜电池的层状沉积；微电子器件的掺杂与钝化工艺；特种光学材料的制备