CAS 号:7803-62-5
纯度等级:6N 及以上
产品规格:4L/8L/10L/40L/47L/50L / Y 型钢瓶 / 管束车 / ISO 罐箱
产品形态:气态硅烷
主要用途:在半导体与太阳能光伏面板生产中用作硅源气体
供货状态:现货
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硅基薄膜沉积:包括多晶硅、外延硅、非晶硅、氮化硅(Si?N?)、氧化硅(SiO?)、碳化硅(SiC)等,这些薄膜在芯片中用作绝缘层、钝化层或导电沟道。
先进制程应用:如 3D NAND 闪存沟道孔的接触孔填充、多晶硅沉积等工序,硅烷发挥着不可替代的作用。
其他用途:可用作离子注入源与干法刻蚀剂。
核心应用:用于生产非晶硅薄膜电池与高效晶硅电池,具体可制备减反射涂层(降低光损耗)与钝化层(提升电池性能)。
市场地位:太阳能电池曾是硅烷最大的应用领域,最高占市场份额的 47%。
TFT 阵列制备:在玻璃基板上沉积非晶硅沟道层,是薄膜晶体管的核心组成部分。
关键绝缘层:与氨气(NH?)反应生成氮化硅绝缘薄膜。
先进制程:也应用于低温多晶硅(LTPS)制程与 OLED 薄膜封装工序。
锂离子电池:用于制备硅碳负极材料,可大幅提升电池能量密度,是动力电池的核心发展方向,预计将成为硅烷未来最大的应用市场。
光纤制造:是高性能光纤的核心原料之一。
节能玻璃:用于生产低辐射(Low-E)镀膜玻璃。
其他工业用途:包括先进陶瓷、光电传感器,以及高超声速超燃冲压发动机点火等特种国防应用。
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