硅烷

 CAS号：7803-62-5

- 中文名：硅烷（别名：甲硅烷、四氢化硅）

- 英文名：Silane（IUPAC名）、Silicon tetrahydride，常用缩写SiH₄

- 曾用名：甲硅烷、四氢化硅、硅甲烷，工业上也简称硅烷气

- 分子式：SiH₄，分子量32.12

- 保存温度：库房阴凉通风、低温干燥，钢瓶建议温度≤20℃，严禁暴晒、撞击、靠近热源/明火，与氧化剂、卤素、酸类、易燃物严格隔离，密封防泄漏，惰性气体（氮气）稀释保护更安全

- 核心属性：无色无臭气体，微溶于水，溶于有机溶剂；熔点**-185℃**，沸点**-111.9℃**；极易燃、高毒，空气中遇明火即爆（自燃点约21℃，爆炸极限1.3%~96%），燃烧生成二氧化硅和水；遇水缓慢水解生成硅酸和氢气，与氧化剂剧烈反应，对呼吸道、黏膜有强刺激，高浓度可致窒息、中毒

- 主要用途：半导体/光伏核心硅源（CVD/PECVD沉积多晶硅、非晶硅薄膜，用于芯片、太阳能电池）；光电材料制备（硅基薄膜、纳米硅材料）；高纯硅制备原料；化学气相掺杂剂；也用作发泡剂、还原剂，航天领域推进剂添加剂