2-甲基-2-甲基丙烯酸金刚烷酯

2-甲基-2-甲基丙烯酸金刚烷酯

• 英文名称：

• 2‑甲基‑2‑甲基丙烯酸金刚烷酯（MAdMA，CAS：177080‑67‑0）

别名：2‑甲基‑2‑金刚烷基甲基丙烯酸酯、2‑甲基丙烯酰氧基‑2‑甲基金刚烷

核心用途

1️⃣ 半导体：ArF（193nm）光刻胶核心单体（最主要用途）

化学放大正型光刻胶树脂的酸保护单体，用于干法 ArF、ArF 浸没式光刻，也用于 EUV 光刻配套树脂。

• 金刚烷笼状刚性结构：赋予光刻胶树脂优异的等离子耐刻蚀性能、高玻璃化温度 Tg，降低线条边缘粗糙度，提升图案转移精度。

• 分子带有酸敏叔酯基团：曝光产酸 + 烘烤后，叔酯发生酸催化脱保护；聚合物由憎水变为碱可溶，实现显影成像。

• 共聚搭配：常和内酯单体、羟基金刚烷单体共聚，合成 ArF 光刻胶基体树脂，用于芯片先进制程光刻材料。

行业定位：电子化学品、半导体光刻专用高端单体，不属于大宗医药 / 日化原料，电子级对纯度、金属离子残留要求极严。

2️⃣ 特种高分子合成共聚单体

1. 合成高耐热、高硬度、耐候丙烯酸聚合物；提升材料热稳定性、机械强度。

2. 特种光学涂层、耐高温胶粘剂、电子绝缘涂层。

3. 科研领域：脂环族功能高分子合成砌块。