3-羟基-1-金刚烷基甲基丙烯酸酯

3‑羟基‑1‑金刚烷基甲基丙烯酸酯     CAS：115372‑36‑6

主要用途

1. ArF (193nm) 光刻胶树脂共聚单体（核心用途）

常与 IPAMA（2‑异丙基‑2‑金刚烷基甲基丙烯酸酯）、GBLMA（γ‑丁内酯甲基丙烯酸酯）组成经典三元树脂体系。

• 金刚烷笼状结构：提供耐干法刻蚀、高 Tg 热稳定性；

• 分子上的羟基（‑OH）引入极性，调控树脂在显影液中的溶解性、溶解对比度，改善显影缺陷、抑制图案剥离 / 倒胶，提升成膜性与图形形貌。

• 它不是酸脱保护单体，属于极性调节单体，不随曝光产酸发生脱保护反应。

2. 高性能特种丙烯酸共聚物砌块合成高硬度、高玻璃化温度、耐温、高耐蚀特种聚合物；用于光学涂层、介电膜材料。

3. 科研开发实验室新材料合成，无医药原料药用途。

基础物性与储存

• 外观：白色类白色结晶粉末，熔点 89‑93℃

• 闪点：133℃

• 储存：25℃以下密封干燥避光，添加 MEHQ 阻聚剂，防止热自聚；电子级产品严控金属离子含量。