六氟化钼新闻专题
六氟化钼的合成与纯化
六氟化钼可在微电子工业中用作化学气相沉积硅化钼或钼，以制作低电阻、高熔点的互联线和栅极。它可以由钼粉和氟气、三氟化溴、三氟化氮等反应再纯化得到。
2025/5/19 13:49:09
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