1,2,3,4-四氯六氟丁烷
| 中文名称 | 1,2,3,4-四氯六氟丁烷 |
|---|---|
| 中文同义词 | 1,2,3,4-四氯六氟丁烷;六氟-1,2,3,4-四氯丁烷;六氟四氯丁烷 |
| 英文名称 | 1,2,3,4-Tetrachlorohexafluorobutane |
| 英文同义词 | 1,2,3,4-TETRACHLOROHEXAFLUOROBUTANE;Hexafluoro-1,2,3,4-tetrachlorobutane 97%;Hexafluoro-1,2,3,4-tetrachlorobutane97%;1,2,3,4-Tetrafluorohexafluorobutane;1,2,3,4-Tetrachloro-1,1,2,3,4,4-hexafluorobutane;Perfluoro-1,2,3,4-tetrachlorobutane, 1,1,2,3,4,4-Hexafluoro-1,2,3,4-tetrachlorobutane;Butane,1,2,3,4-tetrachloro-1,1,2,3,4,4-hexafluoro-;1,2,3,4-Tetrachlorohexafluoro |
| CAS号 | 375-45-1 |
| 分子式 | C4Cl4F6 |
| 分子量 | 303.85 |
| EINECS号 | 938-148-1 |
| 相关类别 | |
| Mol文件 | 375-45-1.mol |
| 结构式 |  |
1,2,3,4-四氯六氟丁烷 性质
| 沸点 | 134-135°C |
|---|---|
| 密度 | 1.72[at 20℃] |
| 形态 | 液体 |
| 颜色 | 透明、无色 |
| InChI | InChI=1S/C4Cl4F6/c5-1(9,3(7,11)12)2(6,10)4(8,13)14 |
| InChIKey | IRHYACQPDDXBCB-UHFFFAOYSA-N |
| SMILES | C(Cl)(F)(F)C(Cl)(F)C(Cl)(F)C(Cl)(F)F |
1,2,3,4-四氯六氟丁烷是六氟-1,3-丁二烯的主要合成原料，而六氟-1,3-丁二烯作为半导体加工使用的蚀刻气体备受关注，其能够对100nm、甚至更窄的宽度进行蚀刻，并具有很高的精准性。
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