磷化氢 基本信息
| 中文名称 | 磷化氢 |
|---|---|
| 中文同义词 | 磷化氢;磷化三氢;膦;磷氢化合物;磷烷;磷烷 / 磷化氢;磷烷 5N;三氢化磷 |
| 英文名称 | Phosphine |
| 英文同义词 | phosphoroustrihydride;Phosphorus hydride;Phosphorus trihydride;phosphorushydride;phosphorustrihydride;Rcra waste number P096;rcrawastenumberp096;Trihydrogen phosphide |
| CAS号 | 7803-51-2 |
| 分子式 | H3P |
| 分子量 | 34 |
| EINECS号 | 232-260-8 |
| 相关类别 | Compressed and Liquefied GasesPesticides;FumigantsMicro/Nanoelectronics;GasesCatalysis and Inorganic Chemistry;GasesVapor Deposition Precursors;Chemical Synthesis;Inorganics;Electronic Chemicals;Insecticides;Phosphorus Compounds;Phosphorus Precursors;Precursors by Metal;Synthetic Reagents |
| Mol文件 | 7803-51-2.mol |
| 结构式 |  |
磷化氢 性质
| 熔点 | -133° |
|---|---|
| 沸点 | −87.5 °C(lit.) |
| 密度 | 0.491 (estimate) |
| 蒸气密度 | 1.15 (vs air) |
| 蒸气压 | 3905kPa at 25℃ |
| 溶解度 | 不溶于水；微溶于乙醇、乙醚 |
| 形态 | 无色气体 |
| 颜色 | 无色气体；易燃 |
| 气味 (Odor) | Garlic-like odor |
| 水溶解性 | 0.26 volumes in H2O (20°C); insoluble hot H2O; slightly soluble alcohol, ether, cuprous chloride solutions [HAW93] [MER06] |
| 比热容 | Cp(gas): 1.09 J/(g·K), at 25℃ |
| Merck | 13,7424 |
| Henry's Law Constant | 8.1×10-5 mol/(m3Pa) at 25℃, Wilhelm et al. (1977) |
| 暴露限值 | ACGIH TLV-TWA:0.42 mg/m3 (0.3 ppm);TLV-STEL:1.4 mg/m3 (1 ppm) OSHA PEL-TWA:0.3 ppm (0.4 mg/m³) NIOSH REL-TWA:0.3 ppm;REL-STEL:1 ppm;REL-IDLH:200 ppm |
| 介电常数 | 2.5(-60℃) |
| 稳定性 | 稳定，但自燃-在空气中自燃。请注意宽的爆炸极限。与氧化剂、卤素、硝酸不相容。 |
| CAS 数据库 | 7803-51-2(CAS DataBase Reference) |
| NIST化学物质信息 | Phosphine(7803-51-2) |
| EPA化学物质信息 | Phosphine (7803-51-2) |
用途
用于集成电路制造生产方法
1.在一个3L的四颈烧瓶上分别安装氢气导入管，滴液漏斗，回流冷凝器和温度计。冷凝器上方依次联接着一个用冰冷却的冷阱，装填固体KOH的干燥管，四个气体捕集器冷阱及一个气体分馏的冷阱，每个冷阱的分馏情况用压力计来调节。所用的氢经过冷却至－180℃，填充活性炭的冷阱后，再通过载铂石棉脱氧。在烧瓶中装入三分之一的白磷，接着滴入KOH稀溶液，用氢气将系统中的空气驱净后，加热到60℃。生成的气体和水蒸气与快速氢气流一起经回流冷凝管，干燥管后可将绝大部分水分除去。剩余的水分在后面的冷阱中分离掉。冷阱的温度分别是：-90℃(1)，-100℃(2)，-180℃(3、4)。故P2H4主要凝集在1，2中，PH3冷凝在3，4中。将PH3再从3，4中再分馏出来，取最低沸点馏分。实验结束后，烧瓶中的物质必须在氢气流中冷却，并用氢气流将整个系统中的PH3驱净后才可拆卸开来。用水将烧瓶中的磷洗到完全不含碱。
2.将粒状的碘化与玻璃小片放入三颈圆底烧瓶中混合，从滴液漏斗中将氢氧化钾溶液滴入。即可排出非常纯的PH3。如果碱加得很慢或不加时，有混进P2H4的可能。
类别
有害气体毒性分级
剧毒急性毒性
吸入-大鼠 LC50: 11 PPM/4小时; 吸入-小鼠 LCL0:380 毫克/立方米/2小时爆炸物危险特性
与空气混合明火、受热可爆可燃性危险特性
明火、受热可燃; 燃烧产生有毒磷氧化物烟雾储运特性
库房通风低温干燥; 轻装轻卸; 与氧气、空气等助燃气体钢瓶分开存放灭火剂
雾状水、二氧化碳、泡沫职业标准
TWA 0.4 毫克/ 立方米; STEL 1 毫克/ 立方米安全信息
| 危险品标志 | F+,T+,N |
|---|---|
| 危险类别码 | 12-17-26-34-50 |
| 安全说明 | 28-36/37-45-61-63 |
| 职业暴露等级 | C |
| 职业暴露限值 | TWA: 0.3 ppm (0.4 mg/m3), STEL: 1 ppm (1 mg/m3) |
| 危险品运输编号 | UN 2199 2.3 (PHOSPHINE) |
| 危险品运输编号 | UN 3525 2.3 (PHOSPHINE, ADSORBED) |
| WGK Germany | 2 |
| RTECS号 | SY7525000 |
| TSCA | TSCA listed |
| DOT Classification | 2.3, Hazard Zone A (Gas poisonous by inhalation) |
| 危险等级 | 2.3 |
| 毒害物质数据 | 7803-51-2(Hazardous Substances Data) |
| 立即威胁生命和健康浓度 | 50 ppm |
| 提供商 | 语言 |
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