2-羰基-四氢呋喃-3-羟基-甲基丙烯酸酯（2-Oxotetrahydrofuran-3-yl methacrylate, CAS:195000-66-9）为无色至淡黄色透明液体，闪点为152℃，分子式为C8H10O4，分子量170.16，其外观如图1所示。
图1. 2-羰基-四氢呋喃-3-羟基-甲基丙烯酸酯外观
制备方法
在装有搅拌浆、冷凝管、温度计的L四口瓶中加入4073ml的正己烷，开启搅拌，向体系加入2-基-四氢呋喃-3-醇78.10g,向反应体系缓慢加入0.03g阻聚剂对苯醌，加入107.2g碱性离子交换树脂，调节ph=7-8,降温至-18°C，向反应体系缓慢滴加107.2g甲基丙烯酸乙烯酯，保温反应7h，监测反应进程，取样检测反应完全后向反应体系加入1000ml水，搅拌萃取分相，有机相经过干燥后减压浓缩蒸干后得到2-羰基-四氢呋喃-3-羟基-甲基丙烯酸酯产品122g,收率93.72%。本实施例合成的2-羰基-四氢呋喃-3-羟基-甲基丙烯酸酯的气相色谱图见图2。
上述制备方法与传统技术项目，具有大大缩小反应时间、高收率、利于工业化生产、成本低等优势。[1]
图2. 2-羰基-四氢呋喃-3-羟基-甲基丙烯酸酯GC谱图
光刻胶中的应用
在3D NAND存储器制造中，需使用厚度≥6微米的248nm（DUV）光刻胶以实现台阶多次刻蚀，但传统KrF光刻胶因高UV吸收无法满足厚膜光刻需求，且现有丙烯酸酯类光刻胶多用于193nm，尚无适用于≥6微米厚度的248nm丙烯酸酯类光刻胶报道。
冉瑞成等人[2]提出一种UV吸收度小、耐刻蚀的含金刚烷丙烯酸酯共聚物光刻胶组合物，厚度可达6-20微米。针对含金刚烷（甲基）丙烯酸酯聚合物因侧基庞大、机械性能差，在厚膜（≥5微米）下易开裂的问题，通过提高聚合物分子量（重均分子量≥15000）及增加主链柔性的方法，有效抑制了厚膜开裂。
包含丙烯酸酯共聚单体的四元聚合物合成方法如下：在500m1四口烧瓶中，依次加入单体25.60g的2-甲基-2-金刚烷醇丙烯酸酯、28.86g的2-乙基-2-金刚烷醇甲基丙烯酸酯、19.77g的2-羰基-四氢呋喃-3-羟基-甲基丙烯酸酯、25.83g的3-羟基-1-金刚烷醇丙烯酸酯、2.0g的引发剂AIBN以及200g的溶剂1，4-二氧六环，在磁力搅拌的作用下常温下完全溶解后，在氮气保护下，设置油浴锅温度为80C、调节转速至20，缓慢升温，使四口烧瓶中反应体系的温度升至70°C，稳定反应18h，得到澄清透明的溶液。反应完全后，用和反应液相同重量的甲醇滴至反应液中，边搅拌边滴加，滴加时间为约50min，完成后再搅拌30min后，停止搅拌后，移除上清液。向移除上清液后的沉淀中加入300mlCH2C12搅拌溶解，溶解完全后得到大约600ml溶液，滴加2倍溶液体积的正己烷，搅拌至固体完全沉淀后，移除上清液后，再加入约1200ml的正己烷搅拌使固体沉淀粉末化，真空抽滤后，将固体粉末放入50°C烘箱中烘干至恒重，得到根据丙烯酸酯共聚物。[2]
参考文献
[1] 张琛，王静云，杜照磊，李石磊，孙佳伟，宋扬. 一种193nm光刻胶用丙烯酸酯树脂单体的合成方法. CN 114560768 A.
[2] 冉瑞成，魏正华，宋红波，石东昌，韩政，孙友松，毛国平. 一种丙烯酸酯共聚物及包含其的光刻胶组合物. CN 108373520 A.