六甲基环三硅氮烷

六甲基环三硅氮烷

中文名称六甲基环三硅氮烷
中文同义词2,2,4,4,6,6-六甲基环丙硅氮烷;2,2,4,4,6,6-六甲基环状三硅氮烷;1,1,3,3,5,5-六甲基环三硅氮烷 25G;2,2,4,4,6,6-六甲基环三硅氮烷;六甲基环三硅氮烷;1,1,3,3,5,5-六甲基环三氮硅烷;1,1,3,3,5,5-六甲基环三硅氨烷;2,2,4,4,6,6-六甲基环丙硅烷
英文名称2,2,4,4,6,6-Hexamethylcyclotrisilazane
英文同义词Cyclotrisilazane, 2,2,4,4,6,6-hexamethyl-;Cyclotrisilazane, hexamethyl-;cyclotrisilazane,2,2,4,4,6,6-hexamethyl-;Dimethylsilazane trimer;dimethylsilazanetrimer;H7250;nsc139842;2,2,4,4,6,6-Hexamethy
CAS号1009-93-4
分子式C6H21N3Si3
分子量219.51
EINECS号213-773-6
相关类别有机氨基硅烷;有机硅;硅烷试剂;有机硅烷;化工原料;硅烷类化合物;硅烷;Si (Classes of Silicon Compounds);Silazanes;Si-N Compounds;Organometallic Reagents;Organosilicon
Mol文件1009-93-4.mol
结构式六甲基环三硅氮烷 结构式

六甲基环三硅氮烷 性质

熔点−10 °C(lit.)
沸点188 °C756 mm Hg(lit.)
密度0.92 g/mL at 25 °C(lit.)
蒸气压35Pa at 25℃
折射率n20/D 1.445(lit.)
闪点139 °F
储存条件2-8°C, protect from light
水溶解性Decomposes in contact with water,Insoluble in water
酸度系数(pKa)14.76±0.20(Predicted)
形态液体
颜色无色
比重0.922
水解敏感性7: reacts slowly with moisture/water
BRN774739
InChI1S/C6H21N3Si3/c1-10(2)7-11(3,4)9-12(5,6)8-10/h7-9H,1-6H3
InChIKeyWGGNJZRNHUJNEM-UHFFFAOYSA-N
SMILESC[Si]1(C)N[Si](C)(C)N[Si](C)(C)N1
CAS 数据库1009-93-4(CAS DataBase Reference)
NIST化学物质信息Hexamethylcyclotrisilazane(1009-93-4)
EPA化学物质信息Cyclotrisilazane, 2,2,4,4,6,6-hexamethyl- (1009-93-4)

六甲基环三硅氮烷 用途与合成方法

六甲基环三硅氮烷作为氮化硅和碳氮化硅沉积的前体已被广泛研究,并可作为光刻胶中的添加剂。

六甲基环三硅氮烷是在1948年由 Brewer 和 Haber 通过二甲基二氯硅烷 Si(CH 3) 2Cl 2和液氨NH3反应,然后用苯萃取沉淀首次合成的。

安全信息

危险品标志Xi
危险类别码36/37/38
安全说明26-36
危险品运输编号1993
WGK Germany3
RTECS号GZ4720000
F10-21
TSCATSCA listed
危险等级3.2
包装类别III
海关编码29349990
存储类别3- 易燃液体
危险性类别急性毒性 类别4 经口
眼部刺激 类别2
易燃液体 类别3
经皮刺激 类别2
特异性靶器官毒性-一次接触,类别3

MSDS信息

提供商 语言
英文
英文
更新日期产品编号产品名称CAS号包装价格
2025/12/22H09092,2,4,4,6,6-六甲基环三硅氮烷
2,2,4,4,6,6-Hexamethylcyclotrisilazane
1009-93-45ML220元
2025/12/22H09092,2,4,4,6,6-六甲基环三硅氮烷
2,2,4,4,6,6-Hexamethylcyclotrisilazane
1009-93-425ML1010元

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