用途:负性BCB树脂在曝光后发生交联,形成难溶的固化结构;未曝光区域则保持可溶性,显影液将其选择性溶解去除,从而实现图形转移。
特性:负性树脂专用显影液XY-D1353对未曝光BCB具有高溶解度,对曝光区域几乎不溶,确保高对比度图形。
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